|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
118793 |
| 005 |
20231031124320.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\128540
|
| 090 |
|
|
|a 118793
|
| 100 |
|
|
|a 20070618d2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"
|f М. А. Нечаев, Л. С. Удут, С. В. Меркулов
|
| 461 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\64647
|t Современные техника и технологии
|l Modern Technique and Technologies
|o IX Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 7-11 апреля 2003 г.
|o труды : в 2 т.
|f Томский политехнический университет ; отв. ред. А. С. Заворин
|d 2003-
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\64489
|y 5-98298-037-4
|t Т. 1.
|v С. 305-306
|d 2003
|p 321 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a системы управления
|
| 610 |
1 |
|
|a Опал-3
|
| 610 |
1 |
|
|a контроллеры приводов
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Нечаев
|b М. А.
|c специалист в области электротехники
|c старший преподаватель Томского политехнического университета
|f 1977-
|g Михаил Анатольевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27732
|
| 701 |
|
1 |
|a Удут
|b Л. С.
|c специалист в области электротехники
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1940-
|g Леонид Степанович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29370
|
| 701 |
|
1 |
|a Меркулов
|b С. В.
|c российский специалист в области электроники и автоматики физических установок
|c инженер-проектировщик Томского политехнического университета
|f 1977-
|g Степан Вадимович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28156
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20070618
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160627
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
