Система управления перемещением кассеты установки ионно-плазменного напыления "Опал-3"

Bibliographic Details
Parent link:	Современные техника и технологии=Modern Technique and Technologies: IX Международная научно-практическая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 7-11 апреля 2003 г./ Томский политехнический университет ; отв. ред. А. С. Заворин.— , 2003- Т. 1..— 2003.— С. 305-306
Main Author:	Нечаев М. А. Михаил Анатольевич
Other Authors:	Удут Л. С. Леонид Степанович, Меркулов С. В. Степан Вадимович
Published:	2003
Subjects:	напыление ионно-плазменное напыление системы управления Опал-3 контроллеры приводов труды учёных ТПУ
Format:	Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=118793

Similar Items