| Summary: | Книга посвящена физическим основам микросистем - новому направлению техники, которое интенсивно развивается последние два десятилетия. В первой части данного тома рассматриваются физические принципы действия, характеристики и конструкции тепловых сенсоров, использующих эффект термического разогрева или охлаждения. Этот тип микроэлектронных сенсоров в российской учебной литературе последовательно практически не рассмотрен. Вторая часть книги посвящена сенсорам излучения оптического и инфракрасного диапазонов (фотонных приемников излучения), в которых появление сигнала связано с возбуждением электронов твердого тела, где эффекты разогрева играют второстепенную роль. Акцент сделан на современных структурах - от тепловизоров до цифровых фотокамер. Учебное пособие может быть полезным для студентов старших курсов, обучающихся по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника», «Микросистемная техника», «Фотоника и оптоинформатика», а также аспирантам и инженерам. |
|---|
