Кремний - материал наноэлектроники учебное пособие
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Outros autores: | |
| Summary: | Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур. |
| Publicado: |
Москва, Техносфера, 2007
|
| Series: | Мир материалов и технологий |
| Subjects: | |
| Formato: | Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=114150 |