Кремний - материал наноэлектроники учебное пособие

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
Άλλοι συγγραφείς: Пархоменко Ю. Н. Юрий Николаевич
Περίληψη:Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Έκδοση: Москва, Техносфера, 2007
Σειρά:Мир материалов и технологий
Θέματα:
Μορφή: Βιβλίο
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=114150
Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:352 с. ил.
Περίληψη:Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
ISBN:9785948361017