Кремний - материал наноэлектроники учебное пособие

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
Andre forfattere: Пархоменко Ю. Н. Юрий Николаевич
Summary:Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Udgivet: Москва, Техносфера, 2007
Serier:Мир материалов и технологий
Fag:
Format: Bog
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=114150
Beskrivelse
Fysisk beskrivelse:352 с. ил.
Summary:Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
ISBN:9785948361017