|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
108175 |
| 005 |
20240131143817.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\116768
|
| 090 |
|
|
|a 108175
|
| 100 |
|
|
|a 20070116d2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок
|f А. А. Булычев, Е. В. Шишигина, М. А. Рябцева
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\62675
|y 5-98298-044-7
|t Университетская научно-практическая отчетная конференция студентов и молодых ученых; 14-16 мая 2003, г. Томск
|o сборник тезисов
|f Томский политехнический университет. Физико-технический факультет
|v С. 46
|d 2003
|p 58 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a электричество
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-модифицированные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрики
|
| 610 |
1 |
|
|a плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Булычев
|b А. А.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шишигина
|b Е. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Рябцева
|b М. А.
|c специалист в области материаловедения
|c инженер-исследователь Томского политехнического университета, старший научный сотрудник
|f 1984-
|g Мария Александровна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33929
|9 17502
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20070116
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20161209
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
