Установка для измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок
| Parent link: | Университетская научно-практическая отчетная конференция студентов и молодых ученых; 14-16 мая 2003, г. Томск: сборник тезисов/ Томский политехнический университет. Физико-технический факультет. С. 46.— , 2003.— 5-98298-044-7 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
2003
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=108175 |