Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок
| Parent link: | Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003: Всероссийская школа-семинар, Томск, 23-27 сентября 2003 года/ Международный научно-технологический центр; Международная академия наук высшей школы. С. 8-9.— , 2003.— 5-99298-50-9 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
2003
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=106046 |