Система автоматизированного измерения и обработки электрических параметров ионно-модифицированных слоёв диэлектриков и тонких плёнок

Bibliographic Details
Parent link:Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003: Всероссийская школа-семинар, Томск, 23-27 сентября 2003 года/ Международный научно-технологический центр; Международная академия наук высшей школы. С. 8-9.— , 2003.— 5-99298-50-9
Main Author: Булычева А. А.
Other Authors: Шишигина Е. В., Рябцева М. А. Мария Александровна
Published: 2003
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=106046