Использование свойств диэлектриков при конструировании ёмкостных микродвигателей с применением тонкоплёночных технологий

Bibliographic Details
Parent link:Электроэнергетика, электротехнические системы и комплексы: Материалы международной научно-технической конференции, Томск, 3-5 сентября 2003 г./ Томский политехнический университет; Сибирское отделение РАН. С. 100-104.— , 2003
Main Author: Бекишев Р. Ф.
Other Authors: Семёнова Л. Н.
Published: 2003
Subjects:
Format: Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=105772