Плазменные покрытия (методы и оборудование), учебное пособие

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Кривобоков В. П.
Weitere Verfasser: Сочугов Н. С., Соловьев А. А.
Zusammenfassung:Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами.
Книга из коллекции ТПУ - Физика
Veröffentlicht: Томск, ТПУ, 2011
Schlagworte:
Online-Zugang:http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10269
https://e.lanbook.com/img/cover/book/10269.jpg
Format: Elektronisch Buch

Ähnliche Einträge