Плазменные покрытия (методы и оборудование), учебное пособие
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Книга из коллекции ТПУ - Физика |
| Published: |
Томск, ТПУ, 2011
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10269 https://e.lanbook.com/img/cover/book/10269.jpg |
| Format: | Electronic Book |
