Плазменные покрытия (методы и оборудование), учебное пособие
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , |
| Zusammenfassung: | Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Книга из коллекции ТПУ - Физика |
| Veröffentlicht: |
Томск, ТПУ, 2011
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10269 https://e.lanbook.com/img/cover/book/10269.jpg |
| Format: | Elektronisch Buch |
| Beschreibung: | 104 с. |
|---|---|
| Zusammenfassung: | Дается обзор современных методов получения покрытий с использованием низкотемпературной плазмы. Систематизируются основные, использующиеся в настоящее время методы нанесения покрытий, рассматриваются методы ассистированного плазмой химического газофазного и физического газофазного осаждения. Отдельно представлены основные типы вакуумных технологических установок для нанесения покрытий плазменными методами. Книга из коллекции ТПУ - Физика |
| ISBN: | 5-98298-191-5 |