Search Results - Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
- Showing 1 - 5 results of 5
-
1
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы by Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published Москва, Техносфера, 2006Call Number: Loading…
Located: Loading…Book Loading… -
2
Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование учебно-справочное руководство... by Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published Долгопрудный, Интеллект, 2016Call Number: Loading…
Located: Loading…Book Loading… -
3
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур by Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published Москва, Радио и связь, 1983Call Number: Loading…
Located: Loading…Book Loading… -
4
Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов by Данилин Б. С. Борис Степанович
Published Москва, Энергоатомиздат, 1987Other Authors: “…Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич…”
Call Number: Loading…
Located: Loading…Book Loading… -
5
Ионное травление микроструктур by Данилин Б. С. Борис Степанович
Published Москва, Радио, 1979Other Authors: “…Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич…”
Call Number: Loading…
Located: Loading…Book Loading…
Search Tools:
Related Subjects
интегральные схемы
микроэлектроника
оборудование
Микроэлектроника
вакуумно-плазменное травление
газовые фазы
газоразрядная плазма
газы
дефекты
интегральные микросхемы
ионно-лучевое травление
ионно-плазменное травление
ионно-химические процессы
ионное травление
ионные процессы
классификация
механизмы
микроструктуры
микроэлектронные схемы
наноимпринт-литография
нанолитография
наноструктуры
нанотехнологии
низкотемпературная плазма
откачка
очистка материалов
плазма
плазменное травление
плазмохимические процессы
пленки