Search Results
Suggested Topics within your search.
Suggested Topics within your search.
- вакуумно-плазменное травление
- газоразрядная плазма 2
- микроэлектроника 2
- наноэлектроника 2
- Микроэлектронные схемы интегральные Травление 1
- диагностика 1
- диффузия 1
- инертные и химически активные газы 1
- ионная имплантация 1
- ионно-лучевая обработка 1
- ионно-лучевое травление 1
- ионно-плазменное травление 1
- ионное распыление 1
- компьютерное моделирование 1
- контроль 1
- концентрационный профиль 1
- коэффициент загрязнения 1
- кремний 1
- магнитный момент 1
- методы измерения 1
- методы нанесения 1
- микротвердость 1
- микроэлектромеханические интегральные системы 1
- наноструктурный материал 1
- неравномерность толщины 1
- однородность состава пленки 1
- плазма 1
- плазменное травление 1
- плазменные технологии 1
- плазмохимическое травление 1
-
1
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для вузов
Published Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010Book -
2
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
Published Москва, Радио и связь, 1983Book -
3
Формирование функциональных слоев учебное пособие
Published Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020Get full text
Get full text
Electronic Book