Search Results - "отклонения градиентов процесса"
Suggested Topics within your search.
Suggested Topics within your search.
- dummy устройства 1
- базовые правила согласования 1
- боковая диффузия 1
- виды рассогласований 1
- выбор размера устройств 1
- глубина фокуса 1
- граничные условия 1
- затенение имплантации 1
- метод корневого компонента 1
- механические напряжения 1
- отклонения градиентов процесса 1
- отклонения параметров 1
- перемешивание 1
- перетрав 1
- прочие эффекты 1
- разброс критических размеров 1
- рассогласование элементов 1
- симметрия 1
- случайное рассогласование 1
- смещение масок 1
- согласование 1
- согласование относительно общего центра 1
- угол литографии 1
- уменьшение ширины канала 1
- эффект близости кармана 1
-
1
Введение в системы автоматизированного проектирования интегральных микросхем. Часть II Учебно-методическое пособие...
Published Воронеж, ВГУ, 2018Subjects: Get full text
Get full text
Electronic Book