Search Results
Suggested Topics within your search.
Suggested Topics within your search.
- Cu films and coatings 1
- Cu films electrical resistance
- evaporation 1
- liquid-phase sputtering 1
- magnetron sputtering systems 1
- self-sustained sputtering 1
- выпаривание 1
- магнетронные распылительные системы 1
- пленки 1
- покрытия 1
- распыление 1
- труды учёных ТПУ 1
- электрическое сопротивление 1
- электронный ресурс 1
-
1
The properties of Cu films deposited by high rate magnetron sputtering from a liquid target
Published 2019Get full text
Electronic Book Chapter