Resultats de la cerca
Matèries dins de la cerca
Matèries dins de la cerca
- химически активные частицы
- экспериментальная установка 2
- атмосферное давление 1
- воздушная плазма 1
- время жизни 1
- дезинфекция 1
- диффузионная длина 1
- зависимость скорости травления 1
- импульсные газовые разряды 1
- кинетика химических процессов 1
- классификация процессов 1
- коэффициент диффузии 1
- методика выполнения работы 1
- методика эксперимента 1
- механизм генерации 1
- механизмы генерации 1
- низкотемпературная газоразрядная плазма 1
- низкотемпературная стерилизация 1
- низкотемпературный плазменный стерилизатор 1
- определения терминов 1
- плазма 1
- плазменное травление 1
- плазмохимическое травление 1
- радикальное травление 1
- разрядная зона 1
- рекомбинация 1
- скорость травления материалов 1
- твердое тело газ 1
- температура 1
- технологические факторы 1
-
1
-
2
Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов...
Publicat Воронеж, ВГУ, 2014Obtenir text complet
Obtenir text complet
Electrònic Llibre -
3
Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов...
Publicat Воронеж, ВГУ, 2014Obtenir text complet
Obtenir text complet
Electrònic Llibre