Результати пошуку
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
- радикальное травление
- вакуумно-плазменное травление 1
- время жизни 1
- газоразрядная плазма 1
- диффузионная длина 1
- ионно-лучевое травление 1
- ионно-плазменное травление 1
- коэффициент диффузии 1
- методика эксперимента 1
- механизмы генерации 1
- микроэлектроника 1
- плазма 1
- плазменное травление 1
- разрядная зона 1
- рекомбинация 1
- уравнение непрерывности 1
- химически активные частицы 1
- химические процессы 1
- экспериментальная установка 1
- электроника 1
- электронный удар 1
-
1
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
Опубліковано Москва, Радио и связь, 1983Книга -
2
Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов...
Опубліковано Воронеж, ВГУ, 2014Отримати повний текст
Отримати повний текст
Електронний ресурс Книга