Søgeresultater
Foreslåede emner i din søgning.
Foreslåede emner i din søgning.
- радикальное травление
- вакуумно-плазменное травление 1
- время жизни 1
- газоразрядная плазма 1
- диффузионная длина 1
- ионно-лучевое травление 1
- ионно-плазменное травление 1
- коэффициент диффузии 1
- методика эксперимента 1
- механизмы генерации 1
- микроэлектроника 1
- плазма 1
- плазменное травление 1
- разрядная зона 1
- рекомбинация 1
- уравнение непрерывности 1
- химически активные частицы 1
- химические процессы 1
- экспериментальная установка 1
- электроника 1
- электронный удар 1
-
1
-
2
Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов...
Udgivet Воронеж, ВГУ, 2014Få fuldtekst
Få fuldtekst
Electronisk Bog