Результати пошуку
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
Рекомендовані теми у межах Вашого пошуку.
- отрицательное смещение
- труды учёных ТПУ 6
- вакуумно-дуговая плазма 4
- высокочастотные импульсы 4
- макрочастицы 4
- подложки 2
- электронный ресурс 2
- gaseous plasma 1
- macroparticle accumulation 1
- microdroplets 1
- substrate negative bias 1
- vacuum arc plasma 1
- ВЧ-распыление 1
- вакуумная дуга 1
- газовая плазма 1
- зонды Ленгмюра 1
- ионная имплантация 1
- катоды 1
- магнетронное распыление 1
- микрокапли 1
- плазма 1
- плазменные фильтры 1
- поверхностная плотность 1
- потенциалы 1
- тангенциальное магнитное поле 1
-
1
Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing
Опубліковано 2015Частина з книги -
2
-
3
Joint Influence of Steered Vacuum Arc and Negative Repetitively Pulsed Bias on Macroparticles Suppression
Опубліковано 2015Частина з книги -
4
Tangential Cathode Magnetic Field and Substrate Bias Influence on Copper Vacuum Arc Macroparticle Content Decreasing
Опубліковано 2015Частина з книги -
5
Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра...
Опубліковано 2014Отримати повний текст
Отримати повний текст
Електронний ресурс Частина з книги -
6
Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density
Опубліковано 2016Отримати повний текст
Електронний ресурс Частина з книги