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  1. 1

    Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing

    Veröffentlicht 2015
    Buchkapitel
  2. 2

    Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma

    Veröffentlicht 2015
    Buchkapitel
  3. 3

    Joint Influence of Steered Vacuum Arc and Negative Repetitively Pulsed Bias on Macroparticles Suppression

    Veröffentlicht 2015
    Buchkapitel
  4. 4

    Tangential Cathode Magnetic Field and Substrate Bias Influence on Copper Vacuum Arc Macroparticle Content Decreasing

    Veröffentlicht 2015
    Buchkapitel
  5. 5
  6. 6

    Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density

    Veröffentlicht 2016
    Volltext
    Elektronisch Buchkapitel