Search Results
-
1
Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений...
Published 2016Get full text
Get full text
Electronic Book Chapter -
2
Поиск режимов осаждения оксида иттрия в металлическом режиме работы магнетронной распылительной системы...
Published 2023Get full text
Electronic Book Chapter