檢索結果

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра 由 Мельников Е. С. Евгений Сергеевич

獲取全文
獲取全文

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра... 由 Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович

獲取全文
獲取全文

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра 由 Чжилей С.

獲取全文
獲取全文