Результати пошуку

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра за авторством Мельников Е. С. Евгений Сергеевич

Отримати повний текст
Отримати повний текст

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра... за авторством Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович

Отримати повний текст
Отримати повний текст

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра за авторством Чжилей С.

Отримати повний текст
Отримати повний текст