Rezultati

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра od Мельников Е. С. Евгений Сергеевич

Polni tekst
Polni tekst

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра... od Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович

Polni tekst
Polni tekst

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра od Чжилей С.

Polni tekst
Polni tekst