نتائج البحث

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра حسب Мельников Е. С. Евгений Сергеевич

احصل على النص الكامل
احصل على النص الكامل

Исследование влияния отрицательного смещения подложки на параметры плазмы ВЧ-магнетронного распыления методом двойного зонда Ленгмюра... حسب Мухаметкалиев Т. М. Тимур Мухамедрашидович

احصل على النص الكامل
احصل على النص الكامل

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра حسب Чжилей С.

احصل على النص الكامل
احصل على النص الكامل