Search Results
Suggested Topics within your search.
Suggested Topics within your search.
- зависимость скорости травления
- кинетика химических процессов 1
- классификация процессов 1
- методика выполнения работы 1
- механизм генерации 1
- низкотемпературная газоразрядная плазма 1
- определения терминов 1
- плазменное травление 1
- плазмохимическое травление 1
- скорость травления материалов 1
- твердое тело газ 1
- температура 1
- технологические факторы 1
- химически активные частицы 1
- экспериментальная установка 1
- элементарные процессы 1
-
1
Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов...
Published Воронеж, ВГУ, 2014Get full text
Get full text
Electronic Book