Torthaí cuardaigh
Topaicí molta laistigh de do chuardach.
Topaicí molta laistigh de do chuardach.
- etch-stop слои 1
- plug via 1
- алюминиевая металлизация 1
- вспомогательные слои 1
- диффузионные барьерные слои
- имс 1
- контакт алюминия 1
- конформность тонких пленок на рельефах имс 1
- коррозия 1
- кремний 1
- маршруты 1
- медь 1
- металлизация 1
- многоуровневые системы металлизации 1
- переход к металлизации на основе меди 1
- планаризация поверхности 1
- пмд 1
- проблемы задачи 1
- разрушение 1
- революционные решения 1
- силицидирование 1
- структуры многоуровневых имс с медной металлизацией 1
- технологии 1
-
1
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем учебное пособие
Foilsithe / Cruthaithe Новосибирск, НГТУ, 2022Faigh an téacs iomlán
Faigh an téacs iomlán
Leictreonach LEABHAR