Результаты поиска
Предлагаемые темы внутри своего поиска.
Предлагаемые темы внутри своего поиска.
- etch-stop слои 1
- plug via 1
- алюминиевая металлизация 1
- вспомогательные слои
- диффузионные барьерные слои 1
- имс 1
- контакт алюминия 1
- конформность тонких пленок на рельефах имс 1
- коррозия 1
- кремний 1
- маршруты 1
- медь 1
- металлизация 1
- многоуровневые системы металлизации 1
- переход к металлизации на основе меди 1
- планаризация поверхности 1
- пмд 1
- проблемы задачи 1
- разрушение 1
- революционные решения 1
- силицидирование 1
- структуры многоуровневых имс с медной металлизацией 1
- технологии 1
-
1
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем учебное пособие
Опубликовано Новосибирск, НГТУ, 2022Полный текст
Полный текст
Электронный ресурс Книга