Результаты поиска
Предлагаемые темы внутри своего поиска.
Предлагаемые темы внутри своего поиска.
- ассистирование
- газовые смеси 1
- дрейф 1
- ионные источники 1
- ионные пучки 1
- магнетронные диоды 1
- магнетронный разряд 1
- материалы 1
- мишени 1
- мощность 1
- оксидные пленки 1
- осаждение 1
- параметры 1
- парциальное давление 1
- поверхность 1
- подача 1
- покрытия 1
- постоянный ток 1
- проблемы 1
- продукты 1
- распыление 1
- распылительные системы 1
- реактивные газы 1
- скорость 1
- технологические параметры 1
- труды учёных ТПУ 1
- удаление 1
- управление 1
- ускоренные ионы 1
- условия 1
-
1
Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком
Опубликовано 2004Полный текст
Электронный ресурс Статья