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Вакуумная техника: методические указания к выполнению практических занятий для студентов направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника...
著者:
Кошелева Н. Н.
出版事項 Воронеж, ВГТУ, 2025
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