Arama Sonuçları
Önerilen Konular
Önerilen Konular
- Микроэлектронные схемы интегральные Травление
- микроэлектроника 2
- наноэлектроника 2
- плазма 2
- учебные пособия 2
- вакуум-плазменное нанесение 1
- вакуумно-плазменное травление 1
- диагностика 1
- ионная кристаллизация 1
- ионно-плазменные технологии 1
- ионный синтез 1
- классификация 1
- компьютерное моделирование 1
- контроль 1
- кремний 1
- лекции 1
- металлургия 1
- микроэлектромеханические интегральные системы 1
- нанотехнологии 1
- плазменные технологии 1
- плазмохимическое травление 1
- применение 1
- процессы 1
- сухое травление 1
- технологические основы 1
- технологические параметры 1
- тонкие пленки 1
- ультрабольшие интегральные системы 1
- физико-химические основы 1
- элементы 1
-
1
Ионно-плазменная обработка материалов курс лекций
Baskı/Yayın Bilgisi Москва, Изд-во МИСиС, 2008Kitap -
2
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях учебное пособие для вузов
Baskı/Yayın Bilgisi Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010Kitap