Suchergebnisse
Ähnliche Schlagwörter innerhalb Ihrer Suche.
Ähnliche Schlagwörter innerhalb Ihrer Suche.
- deep ion doping
- energy impact 4
- ion implantation 4
- radiation-stimulated diffusion 4
- труды учёных ТПУ 4
- электронный ресурс 4
- dynamics of temperature fields 2
- infrared pyrometer 2
- modification of surface 2
- near-surface layers 2
- numerical simulation 2
- self-diffusion 2
- silicon 2
- surface modification 2
- temperature field dynamics 2
- thermal processes 2
- titanium 2
- titanium ions 2
- vacuum arc 2
- ионная имплантация 2
- энергетическое воздействие 2
- arc discharge 1
- diffusion of atoms 1
- synergy 1
- глубокое ионное легирование 1
- динамика температурных полей 1
- диффузия атомов 1
- кремний 1
- модификация поверхности 1
- приповерхностные слои 1
-
1
Modification of silicon under synergy of high-intensity implantation of titanium ions and energy influence of a high-power ion beam on a surface
Veröffentlicht 2024Volltext
Elektronisch Buchkapitel -
2
Features of thermal processes and the influence of pulsed heating of surface layers of titanium on the diffusion transfer of dopants during high-intensity ion implantation
Veröffentlicht 2023Volltext
Elektronisch Buchkapitel -
3
-
4
Investigation of High-Intensity Implantation of Titanium Ions into Silicon under Conditions of Beam Energy Impact on the Surface
Veröffentlicht 2024Volltext
Статья на русском языке
Elektronisch Buchkapitel