Search Results
Suggested Topics within your search.
Suggested Topics within your search.
- плотность плазмы
- измерения 2
- плазма 2
- icp 1
- pecvd процессы осаждения тонких пленок 1
- азотирование поверхности стальных деталей 1
- активация распыленных частиц 1
- активация частиц реактивного газа 1
- ассистированием источником icp 1
- бош процесс 1
- вибрация 1
- вкладываемая вч мощность 1
- внешние антенны 1
- внешние параметры разряда 1
- внутренние антенны 1
- высокочастотный потенциал 1
- вытравление сквозных отверстий в подложках sic с эпитаксиальными слоями gan 1
- газоразрядная плазма 1
- гетеродинная методика 1
- двухволновые рефлектометры 1
- диагностика плазмы 1
- диодный емкостный плазменный реактор 1
- зависимость плотности плазмы 1
- индукционный вч источник 1
- интерферометрическая методика 1
- интерферометры-рефлектометры 1
- ионный ток 1
- источники плазмы 1
- конденсация паров в вакууме 1
- конструкции антенн источников icp 1
-
1
Прецизионный фазовый детектор для гетеродинной интерферометрической методики измерения плотности плазмы...
Published 2003Book Chapter -
2
Двухволновой лазерный интерферометр-рефлектометр ЛИРА для диагностики плазмы на крупномасштабных установках...
Published 2003Book Chapter -
3
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Published Москва, Техносфера, 2018Get full text
Get full text
Electronic Book