檢索結果
在您的搜尋 主題建議
在您的搜尋 主題建議
- автолегирование
- получение 2
- эпитаксиальные структуры 2
- Кремний Физические основы 1
- Микроэлектроника 1
- Нанотехнология 1
- вакуум-термическое испарение 1
- газофазное химическое осаждение 1
- диоксид кремния 1
- диффузионные модели 1
- диэлектрические пленки 1
- ионно-плазменное нанесение 1
- ионно-химическое травление 1
- ионное травление 1
- кинетика 1
- классификация 1
- кремний 1
- легирование 1
- литографические процессы 1
- магнетронное распыление 1
- направленное осаждение 1
- нитрид кремния 1
- оборудование 1
- осаждение 1
- плазменное травление 1
- плазмохимическое травление 1
- практическая реализация 1
- применение 1
- примеси 1
- сухое травление 1
-
1
-
2
Получение эпитаксиальных структур кремния с контролируемым примесным профилем
出版 Ташкент, Фан, 1989圖書