Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для вузов
第一著者: | |
---|---|
その他の著者: | , , |
要約: | URL: https://urait.ru/bcode/490270 (дата обращения: 27.08.2025). В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники. |
出版事項: |
Москва, Юрайт, 2022
|
シリーズ: | Высшее образование |
主題: | |
オンライン・アクセス: | https://urait.ru/bcode/490270 |
フォーマット: | 電子媒体 図書 |