Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для вузов

Бібліографічні деталі
Автор: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Інші автори: Иванов В. И. Владимир Иванович, Лучников П. А. Петр Александрович, Суржиков А. П. Анатолий Петрович
Резюме:URL: https://urait.ru/bcode/490270 (дата обращения: 27.08.2025).
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Опубліковано: Москва, Юрайт, 2022
Серія:Высшее образование
Предмети:
Онлайн доступ:https://urait.ru/bcode/490270
Формат: Електронний ресурс Книга

MARC

LEADER 00000nam a2200000 4500
001 RU/URAIT/490270
003 https://urait.ru/bcode/490270
005 20250827050525.1
010 |a 978-5-9916-7153-8  |d 879.00 
073 1 |a 9785991671538  |d 879.00 
100 |a 20160229d2022 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a y j 000yy 
106 |a s 
200 1 |a Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии  |e учебник для вузов  |f А. С. Сигов, В. И. Иванов, П. А. Лучников, А. П. Суржиков ; под редакцией А. С. Сигова. 
210 |a Москва  |c Юрайт  |d 2022 
215 |a 270 с 
225 1 |a Высшее образование 
230 |a Электрон. дан. 
300 |a URL: https://urait.ru/bcode/490270 (дата обращения: 27.08.2025). 
330 |a В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники. 
337 |a Режим доступа: Электронно-библиотечная система Юрайт, для авториз. пользователей 
610 2 |a Электротехника, электроника, телекоммуникации 
610 2 |a Технические науки 
610 2 |a Вакуумная и плазменная электроника 
610 2 |a Вакуумные и плазменные приборы и устройства 
610 2 |a Основы радиоэлектроники 
610 2 |a Основы радиоэлектроники и связи 
610 2 |a Радиотехнические системы 
610 2 |a Микропроцессорные устройства в РЭО 
610 2 |a Экспериментальные электрофизические и плазменные установки 
610 2 |a Ионно-плазменные технологические установки 
610 2 |a Основы радиотехники 
610 2 |a Электротехника и радиотехника 
610 2 |a Основы электротехники и радиотехники 
610 2 |a Основы высоких технологий в плазменной технике 
610 2 |a Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств 
610 2 |a Радиоэлектроника 
610 2 |a Управление в плазменных установках 
610 2 |a Общая электротехника и радиотехника 
610 2 |a Взаимодействие плазмы с веществом 
610 2 |a Плазменные источники электронов и ионов 
610 2 |a Явления переноса в плазме 
610 2 |a Радиотехника 
610 2 |a Основы конструирования и технологии производства РЭС 
610 2 |a Плазменные процессы 
610 2 |a Электрические дуги и термическая плазма 
610 2 |a Конструирование и технология интегральных микросхем 
610 2 |a Плазменно-энергетические технологии 
610 2 |a Материалы радиоэлектронных средств и изделий микроэлектроники 
610 2 |a Техническая диагностика радиоэлектронных средств и изделий микроэлектроники 
610 2 |a Технология производства радиоэлектронных средств и изделий микроэлектроники 
610 2 |a Основы плазменных технологий 
610 2 |a Моделирование микро и наноэлектронных радиотехнических устройств 
610 2 |a Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах 
610 2 |a Схемо- и системотехника радиоэлектронных средств 
610 2 |a Ионно-плазменные технологии 
610 2 |a Элементная база и схемотехника современной радиоэлектроники 
610 2 |a Плазменные, электронно-лучевые и лазерные установки 
610 2 |a Введение в радиотехнику 
610 2 |a Проектирование радиоэлектронных устройств и встроенных микропроцессорных систем 
610 2 |a Получение покрытий методами вакуумной ионно-плазменной технологии 
610 2 |a Вакуумные и плазменные приборы 
610 2 |a Конструирование полупроводниковых преобразователей интеллектуальных энергетических систем 
610 2 |a Микропроцессорные средства радиоэлектронных систем 
610 2 |a Электронно- и ионно-лучевые технологии 
610 2 |a Плазменные технологии в производстве РЭС 
610 2 |a Теоретические основы радиоэлектроники 
610 2 |a Ионно-плазменные технологии для устройств наноэлектроники, пьезо- и сегнетоэлектриков 
610 2 |a Вакуумные технологии плазменных 
610 2 |a Лазеры и их применение для диагностики плазмы 
610 2 |a Моделирование плазменных процессов 
610 2 |a Плазменные установки 
610 2 |a Введение в радиоэлектронику 
610 2 |a Современная радиоэлектроника 
610 2 |a Вакуум-плазменные технологии 
610 2 |a Микроэлектромеханические устройства в радиоэлектронных системах и комплексах 
610 2 |a Основы конструирования и надежности радиоэлектронных средств 
610 2 |a Основы технологии производства радиоэлектронных средств 
610 2 |a Микропроцессорные устройства радиоэлектронного оборудования 
610 2 |a Основы ионно-плазменных технологий 
610 2 |a Плазменные методы обработки 
610 2 |a Технологии вакуумного напыления 
610 2 |a Физические основы плазменных технологий 
610 2 |a Генераторы плазмы 
610 2 |a Плазменные источники излучения 
610 2 |a Схемотехнические решения РЭС 
610 2 |a Радиоэлектроника и микропроцессорная техника 
610 2 |a Технология материалов для плазменных и полупроводниковых источников света 
610 2 |a Плазменная модификация материалов легкой промышленности 
610 2 |a Теоретические основы плазменной модификации материалов 
610 2 |a Ионно-плазменная техника и технологии 
610 2 |a История освоения плазмы 
610 2 |a Лазерно-плазменные технологии обработки 
610 2 |a Основы физических процессов в плазме и плазменных установках 
675 |a 621.384.6+621.791.722+621.385.032(075.8) 
686 |a 32.851+24.5я73  |2 rubbk 
700 1 |a Сигов  |b А. С.  |g Александр Сергеевич 
701 1 |a Иванов  |b В. И.  |g Владимир Иванович 
701 1 |a Лучников  |b П. А.  |g Петр Александрович 
701 1 |a Суржиков  |b А. П.  |g Анатолий Петрович 
801 0 |a RU  |b ИКО Юрайт  |c 20160229  |g RCR  |2 rusmarc 
801 1 |a RU  |b ИКО Юрайт  |c 20160229  |g RCR  |2 rusmarc 
856 4 0 |n Юрайт  |g Электронная книга  |q html  |h ЮРАЙТ  |v 20250912  |2 Показать документ  |u https://urait.ru/bcode/490270 
955 |a учебник 
957 |a Вакуумная и плазменная электроника 
957 |a Вакуумные и плазменные приборы и устройства 
957 |a Основы радиоэлектроники 
957 |a Основы радиоэлектроники и связи 
957 |a Радиотехнические системы 
957 |a Микропроцессорные устройства в РЭО 
957 |a Экспериментальные электрофизические и плазменные установки 
957 |a Ионно-плазменные технологические установки 
957 |a Основы радиотехники 
957 |a Электротехника и радиотехника 
957 |a Основы электротехники и радиотехники 
957 |a Основы высоких технологий в плазменной технике 
957 |a Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств 
957 |a Радиоэлектроника 
957 |a Управление в плазменных установках 
957 |a Общая электротехника и радиотехника 
957 |a Взаимодействие плазмы с веществом 
957 |a Плазменные источники электронов и ионов 
957 |a Явления переноса в плазме 
957 |a Радиотехника 
957 |a Основы конструирования и технологии производства РЭС 
957 |a Плазменные процессы 
957 |a Электрические дуги и термическая плазма 
957 |a Конструирование и технология интегральных микросхем 
957 |a Плазменно-энергетические технологии 
957 |a Материалы радиоэлектронных средств и изделий микроэлектроники 
957 |a Техническая диагностика радиоэлектронных средств и изделий микроэлектроники 
957 |a Технология производства радиоэлектронных средств и изделий микроэлектроники 
957 |a Основы плазменных технологий 
957 |a Моделирование микро и наноэлектронных радиотехнических устройств 
957 |a Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах 
957 |a Схемо- и системотехника радиоэлектронных средств 
957 |a Ионно-плазменные технологии 
957 |a Элементная база и схемотехника современной радиоэлектроники 
957 |a Плазменные, электронно-лучевые и лазерные установки 
957 |a Введение в радиотехнику 
957 |a Проектирование радиоэлектронных устройств и встроенных микропроцессорных систем 
957 |a Получение покрытий методами вакуумной ионно-плазменной технологии 
957 |a Вакуумные и плазменные приборы 
957 |a Конструирование полупроводниковых преобразователей интеллектуальных энергетических систем 
957 |a Микропроцессорные средства радиоэлектронных систем 
957 |a Электронно- и ионно-лучевые технологии 
957 |a Плазменные технологии в производстве РЭС 
957 |a Теоретические основы радиоэлектроники 
957 |a Ионно-плазменные технологии для устройств наноэлектроники, пьезо- и сегнетоэлектриков 
957 |a Вакуумные технологии плазменных 
957 |a Лазеры и их применение для диагностики плазмы 
957 |a Моделирование плазменных процессов 
957 |a Плазменные установки 
957 |a Введение в радиоэлектронику 
957 |a Современная радиоэлектроника 
957 |a Вакуум-плазменные технологии 
957 |a Микроэлектромеханические устройства в радиоэлектронных системах и комплексах 
957 |a Основы конструирования и надежности радиоэлектронных средств 
957 |a Основы технологии производства радиоэлектронных средств 
957 |a Микропроцессорные устройства радиоэлектронного оборудования 
957 |a Основы ионно-плазменных технологий 
957 |a Плазменные методы обработки 
957 |a Технологии вакуумного напыления 
957 |a Физические основы плазменных технологий 
957 |a Генераторы плазмы 
957 |a Плазменные источники излучения 
957 |a Схемотехнические решения РЭС 
957 |a Радиоэлектроника и микропроцессорная техника 
957 |a Технология материалов для плазменных и полупроводниковых источников света 
957 |a Плазменная модификация материалов легкой промышленности 
957 |a Теоретические основы плазменной модификации материалов 
957 |a Ионно-плазменная техника и технологии 
957 |a История освоения плазмы 
957 |a Лазерно-плазменные технологии обработки 
957 |a Основы физических процессов в плазме и плазменных установках 
900 |l