Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки учебник для вузов - Александрова О. А. (Санкт-Петербург, Лань, 2023)
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».