Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие

Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Комаров Ф. Ф.
Other Authors:	Константинов С. В.
Summary:	Гриф Министерства образования Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Книга из коллекции Вышэйшая школа - Инженерно-технические науки
Published:	Минск, Вышэйшая школа, 2022
Online Access:	https://e.lanbook.com/book/276206 https://e.lanbook.com/img/cover/book/276206.jpg
Format:	Electronic Book

Similar Items

Ионная имплантация
by: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Published: (Минск, Унiверсiтэцкае, 1994)

Ионно-фотонная спектроскопия учебное пособие для вузов
by: Бажин А. И. Анатолий Иванович
Published: (Киев, УМКВО, 1989)

Ионно-фотонная эмиссия металлов
Published: (Ташкент, Фан, 1989)

Ионная имплантация в металлы
by: Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич
Published: (Москва, Металлургия, 1990)

Фотонная корреляционная спектроскопия гранулометрического состава твердых частиц
by: Дозморов П. С. Павел Сергеевич
Published: (2012)

Ионная флотация пер. с англ.
by: Себба Ф.
Published: (Москва, Металлургия, 1965)

Ионная флотация
by: Гольман А. М. Александр Максович
Published: (Москва, Недра, 1982)

Ионная обработка циркониевой керамики мощными импульсными пучками
Published: (2015)

Ионная и лазерная имплантация металлических материалов
by: Быковский Ю. А. Юрий Алексеевич
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1991)

Ионная имплантация сборник статей
Published: (Москва, Металлургия, 1985)

Ионная хроматография пер. с англ.
by: Фритц Д. Джеймс
Published: (Москва, Мир, 1984)

Ионная имплантация пер. с нем.
by: Риссел Х.
Published: (Москва, Наука, 1983)

Ионная оже-спектроскопия учебное пособие
by: Дорожкин А. А. Андрей Андреевич
Published: (Ленинград, Изд-во ЛПИ, 1983)

Электронная и ионная эмиссия
by: Добрецов Л. Н.
Published: (Москва, Изд-во технико-теоретической литературы, 1952)

Вторичная ионная эмиссия металлов
by: Векслер В. И. Владимир Исаакович
Published: (Москва, Наука, 1978)

Ионная проводимость кристаллов пер. с англ.
by: Лидьярд А.
Published: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1962)

Ионный обмен и ионная хроматогрфия
by: Долгоносов А. М. Анатолий Михайлович
Published: (Москва, Наука, 1993)

Электронная и ионная оптика пер. с англ.
by: Силадьи М. Миклош
Published: (Москва, Мир, 1990)

Электронная и ионная техника учебник для вузов
Published: (Москва, Транспорт, 1973)

Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Ионная имплантация
by: Бублик В. Т.
Published: (Москва, МИСИС, 2013)

Ионная смола в магнитном поле
Published: (2013)

Ионная имплантация в алюмофосфатные стекла
by: Стародубцев В. А. Вячеслав Алексеевич
Published: (1996)

Вып. 3 : Электронная и ионная эмиссия
Published: (1954)

Вып. 9 : Электронная и ионная эмиссия
Published: (1956)

Вып. 1 : Электронная и ионная эмиссия
Published: (1953)

Ионная имплантация и лучевая технология пер. с англ.
Published: (Киев, Наукова думка, 1988)

Научное приборостроение. Электронно-ионная оптика сборник научных трудов
Published: (Ленинград, Наука, 1989)

Вторичная ионно-ионная эмиссия металлов и сплавов
by: Черепин В. Т. Валентин Тихонович
Published: (Киев, Наукова думка, 1975)

Ионная проводимость в металлах и полупроводниках (электроперенос)
by: Фикс В. Б. Владимир Борисович
Published: (Москва, Наука, 1969)

Микродефектность и ионная электропроводимость в азиде свинца
by: Захаров Ю. А. Юрий Александрович
Published: (1979)

Электронно-ионная импульсная следящая подача желобошлифовальных станков
by: Бейнарович В. А. Владислав Александрович
Published: (1963)

Т. 2 : Радикальная полимеризация. Ионная и координационная полимеризация
Published: (1978)

Ионная хроматография и её применение в анализе вод
by: Шпигун О. А. Олег Алексеевич
Published: (Москва, Изд-во Московского ун-та, 1990)

Точечные дефекты и ионная электропроводность в азиде свинца
by: Захаров Ю. А. Юрий Александрович
Published: (1980)

Дефектная ионная проводимость твердых растворов некоторых щелочногалоидных солей
by: Завадовская Е. К. Екатерина Константиновна
Published: (1958)

Плазменно-иммерсионная ионная имплантация титана в нержавеющую сталь
by: Сутыгина А. Н. Алина Николаевна
Published: (2014)

Ионная имплантация в полупроводики и другие материалы сборник статей пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1980)

Обработка резанием электроизоляционных материалов
by: Семко М. Ф. Михаил Федорович
Published: (Москва, Энергия, 1974)

Ионно-плазменная обработка материалов
by: Ивановский Г. Ф. Геннадий Фомич
Published: (Москва, Радио и связь, 1986)

Ионная имплантация и "эффект дальнодействия" в поликристаллическом α-Fe
Published: (1993)