Ионная и фотонная обработка материалов учебное пособие
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Περίληψη: | Гриф Министерства образования Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Книга из коллекции Вышэйшая школа - Инженерно-технические науки |
| Έκδοση: |
Минск, Вышэйшая школа, 2022
|
| Διαθέσιμο Online: | https://e.lanbook.com/book/276206 https://e.lanbook.com/img/cover/book/276206.jpg |
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Βιβλίο |
