Физические основы кремниевой наноэлектроники, учебное пособие для вузов
| Main Author: | |
|---|---|
| Summary: | Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур». Книга из коллекции Лаборатория знаний - Нанотехнологии |
| Published: |
Москва, Лаборатория знаний, 2020
|
| Edition: | 4-е изд. |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/135537 https://e.lanbook.com/img/cover/book/135537.jpg |
| Format: | Electronic Book |