Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04

Библиографические подробности
Главный автор:	Ли Цзень Фень
Автор-организация:	Томский политехнический университет (ТПУ) Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН)
Другие авторы:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Язык:	русский
Опубликовано:	Томск, [Б. и.], 2006
Предметы:	тонкие пленки получение пленки арсенида галия импульсные мощные ионные пучки воздействие осаждение абляционная плазма диссертации
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99661

Схожие документы