MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 99463
005 20231031111725.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\106735 
090 |a 99463 
100 |a 20060704d1966 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Вопросы пленочной электроники  |e сборник статей  |f под ред. Д. В. Зернова, М. И. Елинсона, В. Б. Сандомирского 
210 |a Москва  |c Советское радио  |d 1966 
215 |a 472 с.  |c ил. 
320 |a Библиография в конце статей 
320 |a Библиография: с. 429-470. 
610 1 |a электроника 
610 1 |a тонкопленочная технология 
610 1 |a пленки тонкие 
610 1 |a электронные процессы 
610 1 |a пленочные системы 
610 1 |a микроэлектроника 
675 |a 621.382.049.772  |v 3 
675 |a 539.216  |v 3 
702 1 |a Зернов  |b Д. В.  |g Дмитрий Владимирович  |4 340 
702 1 |a Елинсон  |b М. И.  |g Матвей Ильич  |4 340 
702 1 |a Сандомирский  |b В. Б.  |g Владимир Борисович  |4 340 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150526  |g PSBO 
942 |c BK