Магнетронные распылительные системы

Магнетронные распылительные системы

Bibliografiska uppgifter
Huvudupphovsman:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Övriga upphovsmän:	Сырчин В. К. Владимир Кимович
Språk:	ryska
Publicerad:	Москва, Радио и связь, 1982
Ämnen:	Пленки тонкие, полупроводниковые > Получение пленки тонкие распылители распылительные системы магнетронное распыление
Materialtyp:	Bok
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99241

Liknande verk

Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование: сборник статей
Publicerad: (Кишинев, Штиинца, 1988)

Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение: монография
Publicerad: (Кишинев, Штиинца, 1989)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Publicerad: (2008)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Publicerad: (Томск, 2018)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
av: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Publicerad: (2014)

Thin Ni-YSZ films fabricated by magnetron co-sputtering used as anodes for solid oxide fuel cells; IFOST 2012; Vol. 1
Publicerad: (2012)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
av: Шаронова А. А. Анна Александровна
Publicerad: (2013)

Bias-assisted magnetron sputtering of yttria-stabilised zirconia thin films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552 : International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Publicerad: (2014)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Publicerad: (2017)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
av: Цао Янь
Publicerad: (2007)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 134
Publicerad: (2016)

Novel entropy–stabilized ultra high temperature ceramics thin films prepared by magnetron sputtering; 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects; 3rd International Conference on New Materials and High Technologies (3rd NMHT), November 2018
Publicerad: (2018)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Publicerad: (Томск, 2018)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
av: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicerad: (2009)

Исследование характеристик твердоксидных топливных элементов с YSZ/CGO электролитом; Известия вузов. Физика; Т. 59, № 7-2
Publicerad: (2016)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
av: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Publicerad: (2011)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
av: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicerad: (2010)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
av: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicerad: (2009)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publicerad: (Томск, [Б. и.], 2018)

Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets; Перспективы развития фундаментальных наук
av: Bozheyev F. E.
Publicerad: (2012)

Novel entropy-stabilized ultra high temperature ceramics thin films prepared by magnetron sputtering; Современные материалы и технологии новых поколений
Publicerad: (2019)

The use of magnetron sputtering for the deposition of thin titanium coatings on the surface of bioresorbable electrospun fibrous scaffolds for vascular tissue engineering: A pilot study; Applied Surface Science; Vol. 398
Publicerad: (2017)

Antibacterial AgNPs/CaP biocomposites; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Publicerad: (2014)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Publicerad: (2019)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
av: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Publicerad: (2015)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
av: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Publicerad: (2016)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
av: Шлома Ю. П.
Publicerad: (2014)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
av: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicerad: (2009)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
av: Сунь Чжилэй
Publicerad: (2020)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publicerad: (Томск, 2018)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
av: Загузин И. Ю.
Publicerad: (2018)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Publicerad: (Томск, [Б. и.], 2018)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
av: Сунь Чжилэй
Publicerad: (Томск, 2020)

Fabrication and physico-mechanical properties of thin magnetron sputter deposited silver-containing hydroxyapatite films; Applied Surface Science; Vol. 360, pt. B
Publicerad: (2015)

Формирование графитоподобных наноструктур в углеродных пленках, полученных электродуговым методом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
av: Хамдохов Э. З. Эльдар Залимович
Publicerad: (Нальчик, [Б. и.], 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
av: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicerad: (Томск, 2018)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
av: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
Publicerad: (2016)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
av: Целовальникова А. Е.
Publicerad: (2019)

Calcium phosphate coating deposition by radio frequency magnetron sputtering in the various inert gases: The pilot study; Materials Chemistry and Physics; Vol. 235
Publicerad: (2019)

Solid oxide fuel cell anode surface modification by magnetron sputtering of NiO/YSZ thin film; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
Publicerad: (2017)