Магнетронные распылительные системы

Магнетронные распылительные системы

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Այլ հեղինակներ:	Сырчин В. К. Владимир Кимович
Լեզու:	ռուսերեն
Հրապարակվել է:	Москва, Радио и связь, 1982
Խորագրեր:	Пленки тонкие, полупроводниковые > Получение пленки тонкие распылители распылительные системы магнетронное распыление
Ձևաչափ:	Գիրք
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99241

Նմանատիպ նյութեր

Лазерные методы получения полупроводниковых структур и их исследование: сборник статей
Հրապարակվել է: (Кишинев, Штиинца, 1988)

Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение: монография
Հրապարակվել է: (Кишинев, Штиинца, 1989)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Հրապարակվել է: (2008)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
‌: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Հրապարակվել է: (Томск, 2018)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
‌: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Հրապարակվել է: (2014)

Thin Ni-YSZ films fabricated by magnetron co-sputtering used as anodes for solid oxide fuel cells; IFOST 2012; Vol. 1
Հրապարակվել է: (2012)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
‌: Шаронова А. А. Анна Александровна
Հրապարակվել է: (2013)

Bias-assisted magnetron sputtering of yttria-stabilised zirconia thin films; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 552 : International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2014), 21–26 September 2014, Tomsk, Russia
Հրապարակվել է: (2014)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Հրապարակվել է: (2017)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
‌: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Հրապարակվել է: (Томск, 2018)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе; Современные техника и технологии; Т. 2
‌: Цао Янь
Հրապարակվել է: (2007)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 134
Հրապարակվել է: (2016)

Novel entropy–stabilized ultra high temperature ceramics thin films prepared by magnetron sputtering; 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects; 3rd International Conference on New Materials and High Technologies (3rd NMHT), November 2018
Հրապարակվել է: (2018)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
‌: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Հրապարակվել է: (2009)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
‌: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 2018)

Исследование характеристик твердоксидных топливных элементов с YSZ/CGO электролитом; Известия вузов. Физика; Т. 59, № 7-2
Հրապարակվել է: (2016)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
‌: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Հրապարակվել է: (2009)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
‌: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Հրապարակվել է: (2010)

Antibacterial AgNPs/CaP biocomposites; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Հրապարակվել է: (2014)

The use of magnetron sputtering for the deposition of thin titanium coatings on the surface of bioresorbable electrospun fibrous scaffolds for vascular tissue engineering: A pilot study; Applied Surface Science; Vol. 398
Հրապարակվել է: (2017)

Novel entropy-stabilized ultra high temperature ceramics thin films prepared by magnetron sputtering; Современные материалы и технологии новых поколений
Հրապարակվել է: (2019)

Study of tungsten disulfide thin films produces by magnetron spattering of nanostructured targets; Перспективы развития фундаментальных наук
‌: Bozheyev F. E.
Հրապարակվել է: (2012)

Effect of Glancing Angle Deposition to the Morphology of Calcium Phosphate Thin Coatings; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Հրապարակվել է: (2019)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
‌: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Հրապարակվել է: (2011)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron; Известия вузов. Физика; V. 58, № 9-3
‌: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Հրապարակվել է: (2015)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
‌: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Հրապարակվել է: (2016)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
‌: Шлома Ю. П.
Հրապարակվել է: (2014)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
‌: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Հրապարակվել է: (Томск, 2018)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
‌: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Հրապարակվել է: (2009)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
‌: Сунь Чжилэй
Հրապարակվել է: (2020)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
‌: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Հրապարակվել է: (Томск, [Б. и.], 2018)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства: диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
‌: Сунь Чжилэй
Հրապարակվել է: (Томск, 2020)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
‌: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Հրապարակվել է: (Томск, 2018)

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления; Изотопы: технологии, материалы и применение
‌: Загузин И. Ю.
Հրապարակվել է: (2018)

Формирование графитоподобных наноструктур в углеродных пленках, полученных электродуговым методом: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.15
‌: Хамдохов Э. З. Эльдар Залимович
Հրապարակվել է: (Нальчик, [Б. и.], 2018)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
‌: Целовальникова А. Е.
Հրապարակվել է: (2019)

Structural Changes of Titanium Dioxide Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering through Nitrogen Incorporation; Key Engineering Materials; Vol. 683 : Multifunctional Materials: Development and Application
‌: Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna
Հրապարակվել է: (2016)

Calcium phosphate coating deposition by radio frequency magnetron sputtering in the various inert gases: The pilot study; Materials Chemistry and Physics; Vol. 235
Հրապարակվել է: (2019)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07
‌: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Հրապարակվել է: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Нанесение покрытий в вакууме
Հրապարակվել է: (Рига, Зинатне, 1986)