|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
99241 |
| 005 |
20231101214233.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\106467
|
| 090 |
|
|
|a 99241
|
| 100 |
|
|
|a 20060629d1982 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Магнетронные распылительные системы
|f Б. С. Данилин , В. К. Сырчин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 72 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 69-72.
|
| 606 |
1 |
|
|a Пленки тонкие, полупроводниковые
|x Получение
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\49231
|9 68032
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки тонкие
|
| 610 |
1 |
|
|a распылители
|
| 610 |
1 |
|
|a распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.592-416
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Сырчин
|b В. К.
|g Владимир Кимович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060629
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20170822
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Основы электротехнологий и электротехнологические процессы и аппараты
|
| 900 |
|
|
|a Источники плазмы и плазменное оборудование
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
