Micro Electro Mechanical Systems
企业作者: | |
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其他作者: | |
总结: | text |
语言: | 英语 |
出版: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
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丛编: | Micro/Nano Technologies,
2 |
主题: | |
在线阅读: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
格式: | 电子 电子书 |