Micro Electro Mechanical Systems

Micro Electro Mechanical Systems

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: SpringerLink (Online service)
Weitere Verfasser: Huang, Qing-An (HerausgeberIn)
Zusammenfassung:text
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Singapore : Springer Nature Singapore : Imprint: Springer, 2017.
Schriftenreihe:Micro/Nano Technologies, 2
Schlagworte:
Microtechnology.
Microelectromechanical systems.
Mechatronics.
Electronics.
Telecommunication.
Microsystems and MEMS.
Electronics and Microelectronics, Instrumentation.
Microwaves, RF Engineering and Optical Communications.
Online-Zugang:https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7
Format: Elektronisch Buch

Online

https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7

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