Micro Electro Mechanical Systems
| 企業作者: | |
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| 其他作者: | |
| 總結: | text |
| 語言: | 英语 |
| 出版: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
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| 叢編: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| 主題: | |
| 在線閱讀: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| 格式: | 電子 電子書 |
書本目錄:
- Device Physics
- Scaling effect
- Sensors
- Actuators
- RF MEMS
- Micro fluid and bio MEMS
- Integration techniques
- Micro systems.