Micro Electro Mechanical Systems
| Ente Autore: | |
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| Altri autori: | |
| Riassunto: | text |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
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| Serie: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| Natura: | Elettronico Libro |
Sommario:
- Device Physics
- Scaling effect
- Sensors
- Actuators
- RF MEMS
- Micro fluid and bio MEMS
- Integration techniques
- Micro systems.